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中频200KW大功率磁控溅射电源机柜
产品简介

        大连派立特2023年全新研发生产的大功率中频磁控溅射电源,此前130KW等同系列多款电源因诸多性能优势,在业内多个大牌厂商得到广泛应用,经过多年口碑佐证,是公认的高稳定性电源!

        在技术的不断提升下,本电源目前最大功率可达200KW,极限功率可到250KW,且可做到持续生产不停机。

        本电源支持恒流与恒功率两种工作模式切换使用,同具有理想的陡降特性以及极为灵敏的灭弧保护功能。


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产品介绍

主要性能优势

1. 良好的稳定性,故障率极低。

2.良好的阴极溅射,可靠溅射各种金属非金属靶材

3.极高的利用效率,与某些靶材配合,溅射功率可达120KW

4.微秒级灭弧,彻底杜绝打火造成次品的现象

5.电源效率高,输入输出转化效率平均92%

Main Performance Advantages:

1. Excellent stability with an extremely low failure rate.

2. Effective cathode sputtering, reliably sputtering various metallic and non-metallic target materials.

3. Extremely high utilization efficiency; when paired with certain target materials, sputtering power can reach 120KW.

4. Microsecond arc extinguishing, completely eliminating the occurrence of defects caused by arcing.

5. High power supply efficiency, with an average input-output conversion efficiency of 92%.


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