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离子源电源
产品简介
直流中频两用磁控溅射电源特点: 1.可通过设置在直流和中频电源之间切换。 2.灵敏的过流(灭弧)保护。 3.电子电抗,负载匹配性好。 4.集成化设计、体积小、水冷更稳定!
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产品介绍
无需双靶,单靶可制作中频工艺!

独家发布!电源革命!!

国家发明专利!!!


直流中频两用磁控溅射电源特点:
  1.可通过设置在直流和中频电源之间切换。
  2.灵敏的过流(灭弧)保护。
  3.电子电抗,负载匹配性好。
  4.集成化设计、体积小、水冷更稳定!
  5.做中频电源使用时,无需孪生靶材,即可用单靶制作中频工艺。
  6.可执行90%以上孪生阴极的工艺,可做化合物,反应溅射,有效防止靶材中毒。
  7.与传统中频电源相比,显著提高离化率!几乎相当于直流电源的离化效率。
  5.N+1备份,可做到永不停产!

典型应用:
1.LOW-E低辐射玻璃镀膜,可制备SIO2,TIO2,SIN,CRN,TIN,等等化合物。
2.ITO镀膜,SIO2,等
3.陶瓷多弧磁控溅射镀膜设备。
4.ITO氧化铟锡溅射镀膜设备。
。。。。。。

PLT/PS-DCS直流中频两用磁控溅射电源型号及参数
型  号     额定功率 冷却方式  控制方式 空载电压 最大电流  模块数量
PLT/PSDCS15K  15KW     风冷+水冷  恒电流    DC800V   25A       1+1
PLT/PSDCS30K  30KW     风冷+水冷  恒电流    DC800V   50A       1+2
PLT/PSDCS45K  45KW     风冷+水冷  恒电流    DC800V   75A       1+3
PLT/PSDCS60K  60KW     风冷+水冷  恒电流    DC800V   100A      1+4

上述型号,机身尺寸全部:L580 X W445 X H180m
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