中频溅射电源特点：
1.自主知识产权，世界独家采用德国IGBT与MOS相结合技术！
2.采用国外最新微电子PWM控制保护技术。
3.恒流（恒功率）精度高。恒定效果优秀。
4.轻便、高效、相同功率、国内体积最小！
5.大功率中频电源镀膜时可做到永不停产！

典型应用：
1.手机外壳中频磁控溅射镀膜设备。
2.手表外壳中频多弧镀膜设备。
3.ITO导电玻璃连续生产线。
4.LOW-E低辐射玻璃连续镀膜生产线。
5.卷绕磁控溅射柔性镀膜设备。

PLT/DCS直流磁控溅射电源型号及参数
型  号     功率   频率  冷却   控制方式  空载电压 最大电流  模块数量
PLT/MFS10K  10KW   45KHz  水冷    恒流       AC1000V   15A        1
PLT/MFS20K  20KW   45KHz  水冷    恒流       AC1000V   25A        1
PLT/MFS30K  30KW   45KHz  水冷    恒流/恒功  AC1000V   35A         1
PLT/MFS40K  40KW   45KHz  水冷    恒流/恒功  AC1000V   50A         1+2
PLT/MFS60K  60KW   45KHz  水冷    恒流/恒功  AC1000V   75A         1+3

上述型号，机身尺寸全部：L580 X W445 X H180mm。