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直流磁控溅射电源
产品简介
直流溅射电源特点:1.采用国外最新微电子PWM控制技术。2.灵敏的过流(灭弧)保护。3.电子电抗,负载匹配性好。4.集成化设计、体积小、水冷更稳定!5.N+1备份,可做到永不停产
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产品介绍
直流溅射电源特点:
1.采用国外最新微电子PWM控制技术。
2.灵敏的过流(灭弧)保护。
3.电子电抗,负载匹配性好。
4.集成化设计、体积小、水冷更稳定!
5.N+1备份,可做到永不停产!

典型应用:
1.太阳能真空集热管镀膜设备。
2.铝镜磁控溅射连续线。
3.陶瓷多弧磁控溅射镀膜设备。
4.ITO氧化铟锡溅射镀膜设备。
。。。。。。

PLT/DCS直流磁控溅射电源型号及参数
型  号     额定功率 冷却方式  控制方式 空载电压 最大电流  模块数量
PLT/DCS15K  15KW     风冷+水冷  恒电流    DC800V   25A       1
PLT/DCS30K  30KW     风冷+水冷  恒电流    DC800V   50A       1+2
PLT/DCS45K  45KW     风冷+水冷  恒电流    DC800V   75A       1+3
PLT/DCS60K  60KW     风冷+水冷  恒电流    DC800V   100A      1+4

上述型号,机身尺寸全部:L580 X W445 X H180mm。
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