直流溅射电源采用国外最新微电子PWM控制技术,拥有灵敏的过流(灭弧)保护,内置电子电抗负载匹配性能优异。同时本电源稳定性能极佳,被广泛应用在太阳能真空集热管镀膜设备、铝镜磁控溅射连续线、陶瓷多弧磁控溅射镀膜设备、ITO氧化铟锡溅射镀膜设备等诸多领域。
直流磁控溅射电源主要性能优势:
1.全球先进的PWM控制技术
2.高精度恒流控制,膜层更均匀
3.灵敏的过流(灭弧)保护
4.负载匹配性能优异
5.超稳定机芯结构
6.超小体积,美观又实用的空间设计
Direct Current (DC) Magnetron Sputtering Power Supply main performance advantages:
1. World-leading PWM (Pulse Width Modulation) control technology.
2. High-precision constant current control for a more uniform film layer.
3. Sensitive overcurrent (arc extinguishing) protection.
4. Exceptional load matching performance.
5. Ultra-stable core structure.
6. Compact size with a beautiful and practical spatial design.
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